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レーザ加工設備情報

  極端パルスレーザ
レーザ発振器
平均出力 :6W@25kHz(1064nm)、3W@25kHz(532nm)
ビーム品質 :TEM00(M2<1.3)
繰返し周波数 :1-1000kHz
パルス幅 :<15ps
パルスエネルギー
安定性(P-P)
:<1% RMS at 1000kHz
偏光度 :>>100:1
ビーム拡がり角
(全角)
:<2mrad
ビーム真円度 :>85%
光学系(IR・Green)
集光レンズ :φ20 f=25mm 50mm 100mm
エキスパンダー :1~8倍
ガルバノスキャナー :fθレンズ付き スキャンエリア:90mm×90mm
光学系(IR)
高倍率対物レンズ :×50倍
半球レンズ(非球面) :NA 0.6
ステージ仕様(エアロテック製)
X・Yストローク :600mm×600mm
制御ソフト :エアロテックNC Gコードプログラム
分解能 :0.1μμm
繰り返し精度 :1μm
絶対位置決め精度 :5μm以下
Z軸 ストローク :50mm以上
 ※X・Y軸との同期制御はできません。
観測カメラ :50~200倍のマイクロ顕微鏡用カメラ

※設備仕様は事前の予告なく変更する場合がございます。予めご了承ください。

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